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时间:2020年08月30日 来源:

霍尔离子源

霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。

霍尔离子源的特点是:

1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。

为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。

霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。

如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 无锡真空镀膜机厂家,哪家好?推荐真空镀膜机供应商

真空镀膜设备对于环境也是有着非常重要的意义,所以市场对于真空镀膜设备的使用率非常高,下面真空镀膜设备厂家分析保护环境的意义。


真空镀膜设备在电镀中的应用,可以优先改善全球污染状况,告别化学镀膜使用的缺点。在真空环境下,蒸发镀膜不产生任何污染和其他无害物质,是一种绿色低碳的可持续发展。随着社会的发展,许多企业开始使用这种真空镀膜设备,提高了环保意识和环保意识。那么,发展绿色产业是一个永恒的发展趋势。该真空镀膜设备的技术也带领了电镀行业的主流。


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真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。真空镀膜设备若有灰尘,将会影响真空镀膜的效果和质量。首先,被镀膜材料表面肯定是有灰尘的,在尽量减小材料表面灰尘的前提下,我们还应当注意以下几点:

1、真空镀膜设备使用一段时间后,必须要对设备进行清洁维护;

2、规范操作人员及操作要求,包括穿戴专业的服装、手套、脚套等;

3、严格处理衬底材料,做到清洁干净,合乎工艺要求;

4、源材料符合必要的纯度要求;

5、保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求,环境温度湿度要求等;

6、降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。

因此真空镀膜机镀膜时,膜层的好坏,气体启着关键性的作用,是镀膜环节不可或缺的一步。


PVD镀膜涂层常用置配:

彩色系膜层和常规色膜层较大的区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。

锆+氮气:黄绿调金黄色

锆+甲烷:深浅黑色

锆+氧气:白色、透明膜

锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金

铬+甲烷:深浅黑色

铬+氮气:浅黑色

铬+氮气+甲烷:银灰色

铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色




SUS+氧气:紫色


SUS+氮气:蓝色


SUS+甲烷:亮黑色


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加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。

基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。

对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。

镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。 无锡真空镀膜机专业供应商!安徽正规真空镀膜机供应商

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真空环境下易放气


塑料材料中含有空气、残留溶剂、水分、增塑剂等,在真空条件下上述一种或多种成分放出,都会使真空度下降,延长抽真空时间,影响整个镀膜效果,严重的甚至使真空镀膜操作难于进行。而且不同种类、不同生产厂家制造的塑料材料,含气量是不一致的,即使同一种塑料,其放气特性在每次蒸镀时也可能有差别,这将给塑料真空镀膜造成极大困难。为了在塑料表面获得理想的镀膜层,常用的方法是选择适当的涂料将塑料表面封闭,减少真空状态下的放气量,或者采用双室真空装置,提高抽气效率。目前,离子轰击以及真空加热烘烤这2种除气方法的应用也已经相当普遍。 推荐真空镀膜机供应商

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