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弧放电离子源

在均匀磁场中，由阴极热发射电子维持气体放电的离子源。为了减少气耗，放电区域往往是封闭的。阳极做成筒形，轴线和磁场方向平行。磁场能很好地约束阴极所发射的电子流，在阳极腔中使气体的原子（或分子）电离，形成等离子体密度很高的弧柱。离子束可以垂直于轴线方向的侧向引出，也可以顺着轴线方向引出。

阳极层离子源

若是镀工具耐磨层，一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高，可采用离子电流较大能级也较高的离子源，如霍尔离子源或阳极层离子源。阳极层离子源，与霍尔离子源原理近似。在一条环形（长方形或圆形）窄缝中施加强磁场，在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长，特别适合镀大工件，如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散，且能级分布太宽。一般适用于大型工件，玻璃，磨损，装饰工件。但应用于光学镀膜并不太多。

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术语

   1.1真空镀膜vacuumcoating：在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。     

   1.2基片substrate：膜层承受体。

   1.3试验基片testingsubstrate：在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和（或）试验的基片。

   1.4镀膜材料coatingmaterial：用来制取膜层的原材料。

   1.5蒸发材料evaporationmaterial：在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。

   1.6溅射材料sputteringmaterial：有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。

   1.7膜层材料(膜层材质)filmmaterial：组成膜层的材料。

   1.8蒸发速率evaporationrate：在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔

   1.9溅射速率sputteringrate：在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。

   1.10沉积速率depositionrate：在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。

   1.11镀膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。 山东供应真空镀膜机价格真空镀膜机专业供应商！

与金属镀层间的附着性差

塑料与金属镀层间的附着性差首先是由于塑料的表面能一般都比较低，表面极性差;其次塑料易带静电，表面容易吸附灰尘，同时塑料零件又软，化学稳定性差，不易得到真正清洁的表面，而塑料表面的清洁度是影响塑料与金属镀层间附着力的重要因素。第三，即使保持了塑料表面的清洁，由于塑料与金属的膨胀系数相差一个数量级，在成膜过程中或成膜后，温度变化会产生热应力，应力过大将会使镀层开裂甚至脱落。此外，由于沉积过程中金属膜结构受到工艺等因素的影响致使其内部产生一定的内应力，当内应力很大时，膜料沉积到塑料表面后，内应力会转移到金属镀层上来，从而降低镀层的稳定性，甚至使镀层开裂、起皱。为解决金属镀层与塑料基体的结合问题，保证镀层与塑料表面具有良好结合力，真空镀膜时，采用在塑料表面涂上与镀膜金属有亲和力的底涂层，或者对塑料表面进行电晕放电活化处理。

与蒸发镀膜不同，溅射镀膜不受膜材熔点的限制,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。溅射化合物膜可用反应溅射法，将反应气体 (O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物（如氧化物、氮化物等）而沉积在基片上。沉积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上，绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地，一端通过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后，高频电压不断改变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上。由于电子迁移率高于正离子，绝缘靶表面带负电，在达到动态平衡时，靶处于负的偏置电位，从而使正离子对靶的溅射持续进行。采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。无锡真空镀膜机厂家，哪家专业?

装饰功能的应用

装饰薄膜的典型应用是金银丝，利用聚酯薄膜镀铝后加工而成的金银丝已成为纺织品不可缺少的装饰材料，在日常生活用品、手工艺品、舞台艺术用品等各方面的应用很受欢迎。另外，装饰性塑料镀膜还应用于仪器、机械、汽车、玩具、灯具及家用电器等领域，有很高的经济价值及实用性。

阻隔功能的应用

为了提高商品的流通周期与货架寿命，商品包装的作用日益重要，尤其对于食品、药品、化妆品、洗涤品等保质要求较高的商品，采用高阻隔性能包装材料包装往往是有效的手段。常用的高阻隔包装膜通常采用真空蒸镀或真空溅射的方法在塑料薄膜上镀一层铝。 买真空镀膜机，欢迎联系无锡光润！河南现货真空镀膜机直销

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高频离子源

利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离，一般用来产生低电荷态正离子，有时也从中引出负离子，作为负离子源使用。

在高频电场中，自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞，并使之电离。带电粒子倍增的结果，形成无极放电，产生大量等离子体。高频离子源的放电管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高频场可由管外螺线管线圈产生，也可由套在管外的环形电极产生。前者称为电感耦合,后者称为电容耦合高频振荡器频率为10 ～10 Hz，输出功率在数百瓦以上。

从高频离子源中引出离子可有两种方式。一种是在放电管顶端插入一根钨丝作为正极，在放电管尾端装一带孔负电极，并把该孔做成管形，从中引出离子流。另一种方式是把正极做成帽形，装在引出电极附近，而放电区则在它的另一侧。不管采用哪种引出方式，金属电极都要用石英或玻璃包起来，以减少离子在金属表面的复合。

在高频放电区域中加有恒定磁场时，由于共振现象可提高放电区域中的离子浓度。有时，还在引出区域加非均匀磁场来改善引出。 浙江**真空镀膜机厂家直销

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