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时间:2020年09月12日 来源:

霍尔离子源

霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。

霍尔离子源的特点是:

1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。

为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。

霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。

如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 浙江真空镀膜机厂家,哪家好?浙江正规真空镀膜机厂家直销

加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。

基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。

对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。

镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。 新款真空镀膜机供应商真空镀膜机专业供应商!

在真空条件下加热工件,主要依赖辐射。由于辐射传热与温度的4次方成比例,所以在850℃以下辐射效果不高,工件加热速度很慢;其次,因为金属材料中的某些合金元素在低压条件下加热时有蒸发损失现象,会造成表面合金元素的贫乏,以致影响其淬火后的表面层性能。对流加热技术是指先将真空镀膜设备真空炉炉膛抽到一定真空度,然后通以0.1—0.2MPa的惰性(Ar、He)、中性(N2)或还原性(H2)气体,并在充分搅动条件下施行加热,与在单纯真空条件下比较,加热速度至少可提高一倍以上。

因此真空镀膜机镀膜时,膜层的好坏,气体启着关键性的作用,是镀膜环节不可或缺的一步。


PVD镀膜涂层常用置配:

彩色系膜层和常规色膜层较大的区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。

锆+氮气:黄绿调金黄色

锆+甲烷:深浅黑色

锆+氧气:白色、透明膜

锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金

铬+甲烷:深浅黑色

铬+氮气:浅黑色

铬+氮气+甲烷:银灰色

铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色




SUS+氧气:紫色


SUS+氮气:蓝色


SUS+甲烷:亮黑色


SUS+甲烷+氮气:蓝黑色 浙江专业真空镀膜机供应商!

工艺

   2.1真空蒸膜vacuumevaporationcoating:使镀膜材料蒸发的真空镀膜过程。

   2.1.1同时蒸发simultaneousevaporation:用数个蒸发器把各种蒸发材料同时蒸镀到基片上的真空蒸发。

   2.1.2蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation:由蒸发场同时蒸发的材料到基片上进行蒸镀的真空蒸发(此工艺应用于大面积蒸发以获得到理想的膜厚分布)。

   2.1.3反应性真空蒸发reactivevacuumevaporation:通过与气体反应获得理想化学成分的膜层材料的真空蒸发。

   2.1.4蒸发器中的反应性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator:与蒸发器中各种蒸发材料反应,而获得理想化学成分膜层材料的真空蒸发。

   2.1.5直接加热的蒸发directheatingevaporation:蒸发材料蒸发所必须的热量是对蒸发材料(在坩埚中或不用坩埚)本身加热的蒸发。

   2.1.6感应加热蒸发inducedheatingevaporation:蒸发材料通过感应涡流加热的蒸发。

   2.1.7电子束蒸发electronbeamevaporation:通过电子轰击使蒸发材料加热的蒸发。 真空镀膜机采购,欢迎致电无锡光润!河南推荐真空镀膜机厂家直销

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那么如何处理真空镀膜的灰尘呢?

1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。

2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。

3、真空镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理。

4、真空镀膜清洗衬底材料,必须要做到严格合乎工艺要求。

5、真空镀膜适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。

6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等,要有专门的服装。


由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响,因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘,应该在使用中注意以上几点来尽量避免,除此也要注意经常清洗,避免灰尘越积越多。 浙江正规真空镀膜机厂家直销

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