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霍尔离子源

霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。

霍尔离子源的特点是：

1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例，可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口，收离子束冲击很快会销蚀，尤其对反应气体，一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。

为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的，如一个小的空心阴极源。

霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。

如果镀耐磨装饰膜，膜厚大，需要与机体结合力强，而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大，且离子能级也高。如果是镀光学膜，则主要要求离子电流能级集中，离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源，有条件的可采用ECR（电子回旋）或ICP(感应耦合)离子源。另外，也要考虑到耗材，如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 真空镀膜机采购，当然选无锡光润！供应真空镀膜机价格

     根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

      不同类型镀膜机的适用范围是怎样的呢？磁控溅射镀膜设备：应用于信息存储领域，如磁信息存储、磁光信息存储等。磁控溅射镀膜机：应用于防护涂层，如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。磁控溅射镀Al膜生产线：应用于太阳能利用领域，如太阳能集热管、太阳能电池等。光学镀膜设备：应用于光学薄膜领域，如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。 河南现货真空镀膜机厂家直销无锡真空镀膜机厂家，哪家好？

磁控溅射镀膜是在真空中充入惰性气体，并在塑料基体和金属靶之间加上高压直流电，由辉光放电产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子击出，沉积在塑料基体上。由于溅射原子能量比蒸发原子能量高1～2个数量级，高能量的溅射原子沉积在基体时转换的能量多，甚至可发生部分注入现象，同时溅射成膜过程中，基体始终在等离子区中被清洗，因此溅射镀膜与塑料表面的附着力要比蒸发镀膜好，膜层致密、均匀，如配合适当的工件转动，可在复杂表面上获得较均匀的镀层离子镀膜是蒸发工艺与溅射技术的结合，它是在镀膜的同时采用荷能离子轰击工件表面和膜层，使得镀膜层和基体结合力好，不易脱落。由于金属原子的能量低于蒸镀时的能量，即使是耐热性较差的塑料，在其表面也可生成稳定性良好的金属薄膜。

真空镀膜设备在各个领域都是有着涉及的，所以真空镀膜设备的发展速度也是非常快，下面真空镀膜设备厂家分析各种应用.

真空镀膜设备得到了很广的应用，特别是在薄膜生产中。所制备的各种薄膜已应用于各种光电系统和光学仪器，如数码相机、数码相机、望远镜、投影仪、能量控制、光通信、显示技术、干涉仪、卫星导弹、半导体激光器、微机电系统、信息产业、激光生产等，真空镀膜设备已与人类生活紧密联系在一起。

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加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。

基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。

对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。 真空镀膜机采购，推荐无锡光润！真空镀膜机生产

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塑料作为镀膜基体材料的特殊性

性塑料的种类很多，并非所有的都可以进行真空镀膜，有的与金属层的结合力很差，没有实用价值，有的与金属镀层的某些物理性质如膨胀系数相差过大，在高温差环境中难以保证其使用性能，所以真空镀膜时，与金属、玻璃等无机物相比，作为基体材料的塑料具有一定的特殊性。

基体耐热性较差

使沉积温度受到制约塑料属于高分子有机物，耐热性较差，特别是光学塑料，一般要在35～45℃的温度下进行镀膜。而真空镀膜时，不论采用什么方法，基体都受到热的影响，如蒸发源的辐射热，高能量的溅射原子撞击基体的动能以及镀膜材料原子的凝聚能等，都会引起基体的温度升高。控制基体温度在允许的范围内，使真空镀膜时的沉积温度受到制约。 供应真空镀膜机价格

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