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霍尔离子源

霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。

霍尔离子源的特点是：

1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例，可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口，收离子束冲击很快会销蚀，尤其对反应气体，一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。

为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的，如一个小的空心阴极源。

霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。

如果镀耐磨装饰膜，膜厚大，需要与机体结合力强，而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大，且离子能级也高。如果是镀光学膜，则主要要求离子电流能级集中，离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源，有条件的可采用ECR（电子回旋）或ICP(感应耦合)离子源。另外，也要考虑到耗材，如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 无锡真空镀膜厂家，哪家专业？河南真空镀膜机价格

不同的真空镀膜设备厂家的实力都是不同的，所以我们需要学会相应的判断方法，下面一起来看看真空镀膜设备厂家的实力判断方法。

1.经验。真空镀膜设备的维护保养等许多技能都是一样的，有着丰富的经验来应对各种情况，保证良好的效果。

2.成功的故事。真空镀膜设备的维修案例是直接的强度见证之一。真空镀膜设备的维护需要实际操作，不仅包括真空镀膜设备本身，还包括真空镀膜设备等专业配置。毕竟，配置是真空镀膜设备维护的重要前提。

3.售后服务。售后服务是真空镀膜设备维修的重要保证之一。完善的售后服务是真空镀膜设备维护保养的一部分。

4.必须保证维修零件。每个企业很难在每个行业都有一个高水平，这就是为什么分工越来越细。

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真空镀膜设备主要有两种

真空镀膜设备有很多种，如蒸发镀膜和溅射镀膜，包括真空蒸发、磁控溅射、分子束外延、溶胶-凝胶法等。

对于蒸发涂层：

通常，加热靶材使表面组分以原子团簇或离子的形式蒸发，然后通过成膜过程（散射岛结构-迷走神经结构层生长）沉积在衬底表面形成薄膜。

厚度均匀性主要取决于：

1、衬底与靶材的晶格匹配度

2、基板表面温度

3、蒸发功率，速率

4、真空度

5、涂层时间和厚度。

成分均匀性：

蒸发涂层的成分均匀性不易保证。具体调整因素同上。但由于原理上的限制，非单组分蒸发涂料的组分均匀性较差。

晶体取向的均匀性如下

1、晶格匹配度

2、基板温度

3、蒸发率

4、 溅射镀膜可以简单理解为用电子或高能激光轰击靶材，以原子团簇或离子的形式溅射表面组分，沉积在基底表面。

镀灯具铝膜。因为是金属膜，当然是直流磁控溅射好。速度快。中频适合镀化合物膜。如果选离子源，霍尔离子源就够了。但要注意你的灯具大小。一般霍尔离子源是圆形，离子源覆盖的面积有限。你一定要用离子束将工件全部覆盖到。若普通霍尔离子源太小，可考虑用阳极层离子源。

离子源难起辉的一个原因是磁场太弱激发不起等离子体。离子源的种类虽多，但基本上是先产生等离子体，然后从等离子体中抽出气体离子并加速成离子束，然后需要注入电子中和离子流。

现在国内离子源阴极一般都用钨丝，很简单方便。但需要定期更换。尤其是光学镀膜时用氧气，钨丝一般只能用10个小时左右。另外钨丝烧蚀会污染膜层。 真空镀膜机哪家好，无锡光润真空！

真空镀膜设备的结构是什么呢？下面真空镀膜设备厂家带大家一起来了解下吧。

普通真空阀的密封件有橡胶密封结构和金属密封结构。橡胶垫片密封结构是利用阀板和阀座对橡胶垫片进行压缩，依靠橡胶的弹性变形来实现密封。金属垫片的密封结构是通过软金属在压力作用下的塑性变形来达到密封的目的。中、低真空领域一般采用橡胶垫片密封结构；高真空、超高真空领域一般采用金属垫片密封结构。真空阀的主要性能参数是电导率、漏风率、开关动作的可靠性和准确性、阀门的启闭时间。根据驱动形式，阀门可分为手动和自动两种。自动阀主要由压缩空气驱动，有些小阀门由电磁铁驱动。真空系统中常用的阀门有四种：角阀、闸阀、微调阀和排气阀。此外，针阀和球阀常用于气路。根据真空场和应用目的，选用各种真空阀。 挑选真空镀膜设备厂家来无锡光润真空！真空镀膜机供应商

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