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离子源（英文名称：Ionsource）是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束。根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源。使用较广的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有很广的用途。新型重离子源的出现，使重离子的电荷态明显提高,其中较成熟的有电子回旋共振离子源(ECR)和电子束离子源(EBIS)。负离子源性能较好的有转荷型和溅射型两种。在一定条件下，基于气体放电过程的各种离子源，都能提供一定的负离子束流。离子源是一门具有较广应用领域的学科，在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中，离子源都是十分重要不可缺少的设备。真空镀膜设备哪家好？现货真空镀膜机欢迎来电

许多人在使用真空镀膜设备的时候，不重视真空镀膜设备的清洗，导致了真空镀膜设备出现很多问题，下面真空镀膜设备厂家分析清洁方案。1.油扩散泵真空系统是使用的真空系统，其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备，常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的极限压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析，可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外，真空室内壁的油蒸汽污染，真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。2.真空镀膜器材由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成得，例如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物的大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须处理掉污染物。

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高频离子源

利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离，一般用来产生低电荷态正离子，有时也从中引出负离子，作为负离子源使用。

在高频电场中，自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞，并使之电离。带电粒子倍增的结果，形成无极放电，产生大量等离子体。高频离子源的放电管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高频场可由管外螺线管线圈产生，也可由套在管外的环形电极产生。前者称为电感耦合,后者称为电容耦合高频振荡器频率为10 ～10 Hz，输出功率在数百瓦以上。

从高频离子源中引出离子可有两种方式。一种是在放电管顶端插入一根钨丝作为正极，在放电管尾端装一带孔负电极，并把该孔做成管形，从中引出离子流。另一种方式是把正极做成帽形，装在引出电极附近，而放电区则在它的另一侧。不管采用哪种引出方式，金属电极都要用石英或玻璃包起来，以减少离子在金属表面的复合。

在高频放电区域中加有恒定磁场时，由于共振现象可提高放电区域中的离子浓度。有时，还在引出区域加非均匀磁场来改善引出。

1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5，五氧化二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。

2.氟化物：氟化钕NbF3,氟化钡BaF2，氟化铈CeF3，氟化镁MgF2，氟化镧LaF3，氟化钇YF3，氟化镱YbF3，氟化铒ErF3等高纯氟化物。

3.其它化合物：硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨PrTiO3，硫化镉CdS等真空镀膜材料。

4.金属镀膜材料：高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni,高纯金Au，金锗合金AuGe，金镍合金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，铜铟镓合金CuInGa，铜铟镓硒合金CuInGaSe，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。 真空镀膜机设备专业供应商！

在使用真空镀膜设备时，每完成200个镀膜程序以上，就应该要用烧碱(NaOH)饱和溶液来清洗设备，烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。每完成200个镀膜程序，就应该清洁工作室一次。在当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，也需要更换新油。拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。当扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢。扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。上海真空镀膜机报价找哪家？真空镀膜机作用

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不同领域对于真空镀膜设备的需求都是不同的，所以真空镀膜设备厂家需要着重观察市场，这对于真空镀膜设备的发展是有着很大的帮助的。

1.冶炼及冶金行业 我国炉外脱气精炼今后要增加50%以上（根据不同品种）。真空脱气机组的需求约为10～15亿<BR>元/年。其次是真空冶金炉，如真空感应炉、真空电弧炉和真空电阻炉等冶炼合金钢的基本设备。

2.真空热处理行业 我国真空热处理行业提出2010年基本完成以少氧化热处理为中心的技术改造，预计至少需要5000~8000 台先进设备。

3.电工行业今后我国电机制造业的目标是上品种、上档次、降低能耗和物耗，扩大出口。

4.电子信息行业预测2010年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场。总需求量为1000多亿块，达到1000亿以上的总金额。

5.食品工业 用于食品工业中的主要真空设备有真空冷冻干燥机、真空的包装机、真空封罐机、真空浸渍和真空保鲜装置等。食品保鲜与加工设备，拥有巨大的市场潜力。 现货真空镀膜机欢迎来电

无锡光润真空科技有限公司位于无锡市新吴区金城东路333-1-102。公司业务涵盖真空镀膜机，镀膜机，ＰＶＤ设备，表面处理设备等，价格合理，品质有保证。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造机械及行业设备良好品牌。无锡光润真空科技秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。