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弧放电离子源在均匀磁场中,由阴极热发射电子维持气体放电的离子源。为了减少气耗,放电区域往往是封闭的。阳极做成筒形,轴线和磁场方向平行。磁场能很好地约束阴极所发射的电子流,在阳极腔中使气体的原子(或分子)电离,形成等离子体密度很高的弧柱。离子束可以垂直于轴线方向的侧向引出,也可以顺着轴线方向引出。阳极层离子源若是镀工具耐磨层,一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高,可采用离子电流较大能级也较高的离子源,如霍尔离子源或阳极层离子源。阳极层离子源,与霍尔离子源原理近似。在一条环形(长方形或圆形)窄缝中施加强磁场,在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长,特别适合镀大工件,如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散,且能级分布太宽。一般适用于大型工件,玻璃,磨损,装饰工件。但应用于光学镀膜并不太多。真空镀膜机采购,当然选无锡光润!福建真空镀膜机供应商
溅射涂层可分为许多种。一般来说,溅射镀膜和蒸发镀膜的区别在于溅射速率将成为主要参数之一。
激光溅射PLD的成分均匀性容易保持,但原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶体取向(外缘)生长的控制相对一般。带PLD
例如,主要影响因素有:靶材与衬底的晶格匹配程度、涂层气氛(低压气体气氛)、衬底温度、激光功率、脉冲频率、溅射时间等。对于不同的溅射材料和衬底
参数需要通过实验来确定,这是不同的。涂装设备的质量主要取决于温度是否能得到精 确控制,是否能保证良好的真空度,是否能保证良好的真空腔清洁度。 河南正规真空镀膜机生产真空镀膜机采购,无锡光润真空!
霍尔离子源
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。
霍尔离子源的特点是:
1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。
为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。
霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。
如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。
真空镀膜设备的工作离不开相应的监测,那么如何监测呢?下面一起来看看吧。1.目视监控使用双眼监控,因为薄膜在成长的过程中,因为干涉现象会有色彩改变,我们即是依据色彩改变来操控膜厚度的,此种办法有必定的差错,所以不是很精确,需求依托经历。2.定值监控法此办法使用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为中止镀膜点。3.水晶振动监控使用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。可是石英监控有一个欠好的地方即是当膜厚添加到必定厚度后,振动频率不全然因为石英自身的特性使厚度与频率之间有线性关系,此刻有必要使用新的石英振动片。4.极值监控法当膜厚度添加的时候其反射率和穿透率会跟着起改变,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就能够知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。可是极值的办法差错对比大,因为当反射率或许透过率在极值邻近改变很慢,亦即是膜厚ND添加许多,R/T才有改变。反映对比活络的方位在八分之一波利益。江苏真空镀膜机售后维修找哪家?
1.建筑五金:卫浴五金(如水龙头).门锁.门拉手.卫浴、五金合叶、家具等。2.制表业:可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品。3.其它小五金:皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.4.大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等。5、不锈钢管和板(各种类型表面)6、家具、灯具、宾馆用具。7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜。8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰(金银)纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。真空镀膜机,当然选无锡光润!湖南专业真空镀膜机生产厂家
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真空镀膜设备的热处理是非常重要的,那么主要应用是什么呢?具体需要注意什么呢?
高碳、高合金工模具钢真空镀膜设备真空加热奥氏体化后在惰性、中性或还原性气体中淬火冷却是惰性。中性或还原性气体中淬火冷却是保证质量的可行途径。但是负压和常压下的气冷不能使大型工件或批量炉料都获得好的淬硬效果。一则气体本身也需要冷却,二则在有限体积条件下要增加气体的冷却能力,只有靠增加冷却气体的量,即提高冷却气体的压力来实现。
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