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磁控溅射镀膜是在真空中充入惰性气体,并在塑料基体和金属靶之间加上高压直流电,由辉光放电产生的电子激发惰性气体,产生等离子体,等离子体将金属靶材的原子击出,沉积在塑料基体上。由于溅射原子能量比蒸发原子能量高1~2个数量级,高能量的溅射原子沉积在基体时转换的能量多,甚至可发生部分注入现象,同时溅射成膜过程中,基体始终在等离子区中被清洗,因此溅射镀膜与塑料表面的附着力要比蒸发镀膜好,膜层致密、均匀,如配合适当的工件转动,可在复杂表面上获得较均匀的镀层离子镀膜是蒸发工艺与溅射技术的结合,它是在镀膜的同时采用荷能离子轰击工件表面和膜层,使得镀膜层和基体结合力好,不易脱落。由于金属原子的能量低于蒸镀时的能量,即使是耐热性较差的塑料,在其表面也可生成稳定性良好的金属薄膜。江苏真空镀膜机厂家,哪家好?河南现货真空镀膜机厂家直销
离子源(英文名称:Ionsource)是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子,并被引出成束。根据不同的使用条件和用途,已研制出多种类型的离子源。使用较广的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的,也有很广的用途。新型重离子源的出现,使重离子的电荷态明显提高,其中较成熟的有电子回旋共振离子源(ECR)和电子束离子源(EBIS)。负离子源性能较好的有转荷型和溅射型两种。在一定条件下,基于气体放电过程的各种离子源,都能提供一定的负离子束流。离子源是一门具有较广应用领域的学科,在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中,离子源都是十分重要不可缺少的设备。河南高质量真空镀膜机报价真空镀膜机采购,哪家便宜?
薄膜均匀性概念1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2.化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。具体因素也在下面给出。3.晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。
霍尔离子源霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。霍尔离子源的特点是:1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的MarkI和MarkII离子源。适用的如国产的大部分离子源。如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。购买真空镀膜机,欢迎来电!
真空的基本知识“真空”是指压力低于一个大气压的任何气态的空间。在这种空间中气体是比较稀薄的,至少比大气要稀薄,但是“真空”,即没有任何气态微粒的空间是找不到的,就是在远离地球一万公里处、每立方厘米也有3~4千个空气的分子。由于真空度大小仍然是气体压力大小的问题,所以计量压强的单位也就是计量真空度的单位。国际标准单位为帕斯卡(Pa),也可用“托”(Torr)、“巴”(bar)和“毫巴”(mbar)来计量,他们之间的关系如下式:1标准大气压=1.01×105帕斯卡(Pa)=760托(Torr)=1.01×103毫巴购买真空镀膜机,欢迎来无锡光润真空!福建新款真空镀膜机厂家
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磁控溅射靶是磁控镀膜的源,必须满足两个条件:一是具有正交的电磁场;二是磁场方向应与阴极靶面平行,形成一个封闭的环形水平磁场。从阴极靶面发射的电子被加速以获得阴极暗区的能量。由于阴极靶表面存在水平磁场,它们不能直接飞到阳极上。相反,在环形水平磁场形成的等离子体环中,它们按照近似摆线运动轨迹向前运动,电子运动轨迹加长,从而增加了电子与气体分子碰撞的概率。电子的每一次碰撞都会损失一些能量,只有通过能量交换,电子才能脱离磁场的束缚。在能量交换之前,电子会飞约100米,碰撞频率为107次/s,这将提高气体的电离率和阴极靶所能达到的鸟电流密度,从而获得较高的溅射速率。河南现货真空镀膜机厂家直销
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