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蒸发式真空镀膜机的工作原理:通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法较早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之知一。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子道以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发专源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的属距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。简言之,蒸发式真空镀膜机的工作原理就是真空室内利用电阻加热法,把紧紧贴在电阻丝上面的金属丝熔融汽化,汽化了的金属分子沉积于基片上,而获得光滑反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。真空镀膜机采购,无锡光润真空!山东**真空镀膜机价格
磁控溅射靶是磁控镀膜的源,必须满足两个条件:一是具有正交的电磁场;二是磁场方向应与阴极靶面平行,形成一个封闭的环形水平磁场。从阴极靶面发射的电子被加速以获得阴极暗区的能量。由于阴极靶表面存在水平磁场,它们不能直接飞到阳极上。相反,在环形水平磁场形成的等离子体环中,它们按照近似摆线运动轨迹向前运动,电子运动轨迹加长,从而增加了电子与气体分子碰撞的概率。电子的每一次碰撞都会损失一些能量,只有通过能量交换,电子才能脱离磁场的束缚。在能量交换之前,电子会飞约100米,碰撞频率为107次/s,这将提高气体的电离率和阴极靶所能达到的鸟电流密度,从而获得较高的溅射速率。专业真空镀膜机私人定做真空镀膜机采购,欢迎致电无锡光润!
在使用真空镀膜设备时,每完成200个镀膜程序以上,就应该要用烧碱(NaOH)饱和溶液来清洗设备,烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。每完成200个镀膜程序,就应该清洁工作室一次。在当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),也需要更换新油。拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。当扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢。扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。
与金属镀层间的附着性差塑料与金属镀层间的附着性差首先是由于塑料的表面能一般都比较低,表面极性差;其次塑料易带静电,表面容易吸附灰尘,同时塑料零件又软,化学稳定性差,不易得到真正清洁的表面,而塑料表面的清洁度是影响塑料与金属镀层间附着力的重要因素。第三,即使保持了塑料表面的清洁,由于塑料与金属的膨胀系数相差一个数量级,在成膜过程中或成膜后,温度变化会产生热应力,应力过大将会使镀层开裂甚至脱落。此外,由于沉积过程中金属膜结构受到工艺等因素的影响致使其内部产生一定的内应力,当内应力很大时,膜料沉积到塑料表面后,内应力会转移到金属镀层上来,从而降低镀层的稳定性,甚至使镀层开裂、起皱。为解决金属镀层与塑料基体的结合问题,保证镀层与塑料表面具有良好结合力,真空镀膜时,采用在塑料表面涂上与镀膜金属有亲和力的底涂层,或者对塑料表面进行电晕放电活化处理。无锡光润真空可根据客户要求设计各类真空镀膜机设备。
在高真空淀积时,蒸发原子(或分子)与残余气体分子间的碰撞可以忽略不计,因此汽化原子是沿直线飞向基片的,这样保持较大动能到达基片的汽化原子即可以在基片上凝结成较牢固的膜层。在低真空淀积时,由于碰撞的结果会使汽化原子的速度和方向都发生变化,甚至可能在空间生成蒸汽原子体—其道理与水蒸汽在大气中生成雾相似。(2).在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下,真空室内含有众多的残余气体分子(氧、氮、水及碳氢化合物等),它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短;它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应;它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜;它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命;它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行……。无锡真空镀膜机厂家,哪家专业?山东现货真空镀膜机价格
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需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,**终形成薄膜。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。山东**真空镀膜机价格
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