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对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展。为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理。三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约,凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内,保持压强约~,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。2、光学镀膜方法材料(1)氟化镁:无色四方晶系粉末,纯度高,用其制光学镀膜可提高透过率,不出崩点。(2)二氧化硅:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好。纯度高。卷绕镀膜机的操作简单,效率高,节省人力成本。自制卷绕镀膜机联系方式
真空镀膜机主要分类主要分类有两个大种类:蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等。一、对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:1。基片材料与靶材的晶格匹配程度2、基片表面温度3.蒸发功率,速率4.真空度5.镀膜时间,厚度大小。组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。晶向均匀性:1。晶格匹配度2。基片温度3。蒸发速率溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。定制卷绕镀膜机一体化卷绕镀膜机常规使用方案是什么?
真空镀膜机原理真空镀膜机是目前制作真空条件应用很多的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。本公司专业从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。下面,详细介绍真空镀膜机的各部分组成及其工作原理。一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径、、、,腔体由不锈钢"target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。二、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用的一种低真空泵。
TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。Q9:请问PVD镀膜膜层的厚度是多少?A9:PVD镀膜膜层的厚度为微米级,厚度较薄,一般为μm~5μm,其中装饰镀膜膜层的厚度一般为μm~1μm,因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能,并能够维持工件尺寸基本不变,镀后不须再加工。Q10:请问PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色有哪些?A10:我们目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色,浅金黄色,咖啡色,古铜色,灰色,黑色,灰黑色,七彩色等。通过控制镀膜过程中的相关参数,可以控制镀出的颜色;镀膜结束后可以用相关的仪器对颜色值进行测量,使颜色得以量化,以确定所镀出的颜色是否满足要求。Q11:请问目前PVD镀膜技术主要应用在哪些行业?A11:PVD镀膜技术的应用主要分为两大类:装饰镀和工具镀。装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命;这方面主要应用五金行业的各个领域,如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。工具镀的目的主要是为了提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系数,提高工件的使用寿命;这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具。卷绕镀膜机使用时要注意零件的保养!
磁控溅射卷绕镀膜机磁控溅射的构成例(W35系列)对树脂基膜等基材以卷到卷方式采用磁控溅射方法形成透明导电膜(ITO,ZnO等)・光学膜(SiO2,SiOx,NbOx等)镀膜的磁控溅射卷绕镀膜机。磁控溅射法,采用各种阴极(DC,UBM,DMS,旋转磁石),进行触摸屏・FPD・太阳能电池・窗膜等所必须的透明导电膜(TCO)・光学膜・氧化膜・金属膜的镀膜。聚集了从面向R&D・实验性生产的小型装置到面向宽幅・大型卷绕镀膜机,对应柔性电子・能源领域的研究开发直到量产的需求。特征1.可搭载各种阴极1)UBMS(非平衡磁控溅射)根据非平衡磁场增大基材附近的等离子密度。膜表面的能量辅助效果使得薄膜特性提高。BM和UBM的比较2)DMS(双磁石磁控溅射)在镀绝缘膜等反应性磁控溅射镀膜时,将2台磁控溅射蒸发源交替放电,实现长时间稳定放电・高速镀膜。3)旋转磁石利用圆柱靶的圆周,提高材料效率。通过投入高能量实现高速镀膜。可以DMS化。2.前处理机能通过脱气,离子源照射・等离子照射实现密着性改善机能。装置阵容1.面向R&D・实验性生产的卷绕镀膜机(W35系列)面向R&D・实验性生产的卷绕镀膜机(W35系列)小型・节省空间基膜宽度:350mm。卷绕镀膜机在使用时如何注意保养?品质卷绕镀膜机一体化
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离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩)以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度**提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。光学镀膜材料(纯度:)高纯氧化物一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO2,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二铌、Nb2O5,三氧化二铝、Al2O3,三氧化二钪、Sc2O3,三氧化二铟、In2O3,二钛酸镨、Pr(TiO3)2,二氧化铈、CeO2,氧化镁、MgO,三氧化钨、WO3,氧化钐、Sm2O3,氧化钕、Nd2O3。自制卷绕镀膜机联系方式
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