江苏高效异质结装备供应商

异质结电池生产流程与常规晶硅工艺的区别。常规晶硅工艺：1、清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2、扩散制结。通过热扩散等方法在硅片上形成不同导电类型的扩散层，以形成p-n结；3、刻蚀去边。去除扩散后硅片周边的边缘结；4、去磷硅玻璃。扩散过程中，在硅片表面会形成一层含磷的氧化硅，称为磷硅玻璃（PSG），需要用氢氟酸腐蚀去掉；5、镀减反射膜。为进行一步提高对光的吸收，在硅片表面覆盖一层减反射膜。常用PECVD进行SiNx薄膜沉积，同时起到钝化的作用；6、栅线电极。在电池正面用丝网印刷进行栅线电极制作，在背面印刷背场(BSF)和背电极，并且进行干燥和烧结；7、电池测试及分选。光伏异质结是一种高效太阳能电池，具有更高的转换效率和更低的衰减率。江苏高效异质结装备供应商

异质结电池（HJT电池）的特点和优势1、无PID现象由于电池上表面为TCO，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，无PID现象。同时实测数据也证实了这一点。异质结太阳能电池的技术应用与前景2、低温制造工艺HJT电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。3、高效率HJT电池一直在刷新着量产的电池转换效率的世界纪录。HJT电池的效率比P型单晶硅电池高1-2%，而且之间的差异在慢慢增大。4、高光照稳定性异质结太阳能电池的技术应用与前景在HJT太阳能电池中不会出现非晶硅太阳能电池中常见的Staebler-Wronski效应。同时HJT电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。5、可向薄型化发展HJT电池的制程温度低，上下表面结构对称，无机械应力产生，可以顺利实现薄型化；另外经研究，对于少子寿命较高（SRV<100cm/s）的N型硅基底，片子越薄可以得到越高的开路电压。双面微晶异质结铜电镀产线光伏异质结的结构简单，由非晶硅层和晶体硅层组成，具有制造工艺简单、快速和低成本的优势。

HJT电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。HJT电池转换效率高，拓展潜力大，工艺简单并且降本路线清晰，契合了光伏产业发展的规律，是有潜力的下一代电池技术。HJT电池为对称的双面结构，主要由 N 型单晶硅片衬底、正面和背面的本征/掺杂非晶硅薄膜层、双面的透明导电氧化薄膜(TCO) 层和金属电极构成。其中，本征非晶硅层起到表面钝化作用，P型掺杂非晶硅层为发射层，N 型掺杂非晶硅层起到背场作用。

光伏异质结是一种利用半导体材料的光电效应将太阳能转化为电能的技术。其效率是指将太阳能转化为电能的比例，通常用百分比表示。光伏异质结的效率受到多种因素的影响，包括材料的选择、结构设计、光谱响应、温度等。目前，光伏异质结的效率已经达到了较高水平。单晶硅太阳能电池的效率可以达到22%左右，而多晶硅太阳能电池的效率则在18%左右。此外，还有一些新型材料的光伏异质结，如钙钛矿太阳能电池、有机太阳能电池等，其效率也在不断提高，已经达到了20%以上。虽然光伏异质结的效率已经很高，但仍有提高的空间。未来，随着新材料、新技术的不断涌现，光伏异质结的效率有望进一步提高，从而更好地满足人们对清洁能源的需求。零界高效异质结电池整线设备导入铜制程电池等多项技术，降低非硅成本。

异质结电池的清洗制绒：在沉积a-Si:H之前的晶圆清洗有两个作用。一个是去除晶圆表面的颗粒和金属污染。另一个是用氢气使表面上的悬空键部分钝化。清洁是降低a-Si:H/c-Si界面状态密度的关键一步。不同清洁程序的效果可以通过测量清洁过的晶圆的载流子寿命来研究，这些晶圆已经用相同的a-Si:H薄膜进行了钝化。在高质量硅片的块状区域的载流子重组可以被认为是可以忽略的，因此对载流子寿命的测量表明了表面重组，因此也表明了清洁过程的质量。下图显示了在代尔夫特理工大学进行的三种不同清洗方法的比较。在晶圆两面沉积本征a-Si:H层之前，以三种不同的方式处理（100）取向的FZ c-Si晶圆。晶圆使用标准的RCA清洗，第二个晶圆使用涉及浓硝酸的标准DIMES清洗程序进行清洗。所有三个晶圆都被浸泡在HF中，以去除原生氧化层，这是对第三个晶圆进行的处理。在预处理之后，在晶圆的两面都沉积了120纳米厚的本征a-Si:H层，每次运行都使用相同的沉积条件。使用Sinton寿命测试器测量载流子寿命，以评估钝化质量。使用标准RCA工艺清洁的晶圆载流子寿命高，因此钝化效果也好。只接受HF浸渍处理的晶圆观察到低的载流子寿命。异质结电池的出色性能和广泛的应用前景使其成为未来太阳能产业的明星技术。江苏高效异质结装备供应商

高效异质结电池PECVD设备是制备微晶硅的中心设备，其工艺机理复杂，影响因素众多，需要专业公司制备。江苏高效异质结装备供应商

高效异质结电池整线解决方案，TCO的作用：在形成a-Si:H/c-Si异质结后，电池被用一个~80纳米的透明导电氧化物接触。~80纳米薄的透明导电氧化物（TCO）层和前面的金属网格。透明导电氧化物通常是掺有Sn的InO（ITO）或掺有Al的ZnO。通常，TCO也被用来在电池的背面形成一个介电镜。因此，为了理解和优化整个a-Si:H/c-Si太阳能电池，还必须考虑TCO对电池光电性能的影响。由于其高掺杂度，TCO的电子行为就像一个电荷载流子迁移率相当低的金属，而TCO/a-Si:H结的电子行为通常被假定为类似于金属-半导体结。  TCO的功函数对TCO/a-Si:H/c-Si结构中的带状排列以及电荷载流子在异质结上的传输起着重要作用。此外，TCO在大约10纳米薄的a-Si:H上的沉积通常采用溅射工艺；在此，应该考虑到在该溅射工艺中损坏脆弱的a-Si:H/c-Si界面的可能性，并且在工艺优化中必须考虑到。江苏高效异质结装备供应商