舟山半导体净化工程

国外洁净室的强度要求极高，例如美国关于洁净室的几个标准的要求是． 人工光300lx有较好的效果，当工件精细程度更高时，500x也是允许的。对于要红灯照明的地方，如电子行业的光刻车间，其照度一般为(25—501x)， 用天然光时可允许更高的照度，因而对工作是有利的，所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，这也是为了节能而出现的一种动向。 防静电 洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。 所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。洁净室的洁净度等级通常以单位体积内空气中的颗粒物数量来表示，如ISO 14644-1标准。舟山半导体净化工程

在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范）都是这样规定的 垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s 水平平行流（层流）洁净室≥0.35 m/s 噪声控制 洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是： 1．烦恼的效应 由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。 2．对工作效率的影响 这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神，动作准确性，工作速度； 3．对综合通讯的干扰 这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，不可能 对以上三方面指标都用A声级来评价。安徽电子净化工程在洁净室内进行生产时，应尽量避免使用易产生尘埃的设备和材料。

用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。 净化工程控制 编辑 洁净室中的温湿度控制 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的高效过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞，向***经室内，带走污染物，然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后，再循环至高效过滤器。洁净室的通风系统应设计合理，确保空气流通顺畅且不会产生涡流和死角。

    目前硬盘磁头的静电压阈值已经下降到3V以内，部分IC的封装环境要求达到Class10，甚至Class1的水平。电子信息行业的技术发展和高性能要求促使洁净工程行业企业由价格竞争转向技术竞争，只有具备技术研发、自主创新能力的企业才能满足客户需求而持续发展，才能设计和建造符合要求的的洁净室，相关技术和服务能力的提升将成为未来市场竞争的焦点。节能化成为洁净工程重要目标洁净厂房是我国的耗能大户之一，据不完全统计，洁净室的能耗是一般写字楼的10~30倍。我国的8英寸芯片厂，洁净室单位面积能耗比美国同型工厂高百分之15。美国耗能kW/m2~kW/m2，而中国耗能kW/m2~kW/m2（资料来源：中国电子学会洁净分会）。以上海某芯片厂为例，其全年耗电量百分之51是用于洁净工程运行及相关的维护，如果将百分之51的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增长。因此，洁净室下游相关行业企业越来越重视洁净室的节能问题。这就要求洁净工程行业的设计和施工企业，从客户需求出发，从设计理念、建造施工、设备配备及运行等各个方面进行节能设计，只有采取方位的节能技术，整个洁净工程行业才能持续、良性发展。洁净技术方向发展空气分子污染（AirborneMolecularContaminants。在洁净室内进行生产活动时，应尽量减少人员的活动和操作，以减少尘埃的产生。江苏制药净化工程标准

照明灯具在净化工程中扮演着重要角色，需确保光照正常、安装可靠。舟山半导体净化工程

层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在 侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 (2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 舟山半导体净化工程