实验室净化工程
用风速可以正确地表示出单向流,因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关,如吊顶的高低,因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍(10到100倍)。 净化工程控制 编辑 洁净室中的温湿度控制 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。在洁净室内进行生产时,应严格控制原材料的进入和废弃物的处理,以减少对环境的污染。实验室净化工程
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 上海空调净化工程等级净化工程在于控制环境洁净度,确保产品生产的每一环节都达到高标准。
净化工程作用 编辑 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。 净化工程分类 编辑 乱流式 (Turbulent Flow) 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA) 进入 洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板 乱流式 回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。 缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。
在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。 B、室内空气参数要求 : (1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。 (2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。 (3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。 洁净室内的空气循环应尽可能减少涡流和湍流,以提高洁净度水平。
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口 这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。 优点: A.不需要占用机房面积,布置很灵活的; B.可以满足空气的洁净度; C.造价比较低。如此类无尘车间初投资约需要40万; D.送风均匀度好。 缺点: A.温湿度控制较差; B.可以满足空气的洁净度; C.FFU的维修频率高。 4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点 A、无尘车间 洁净度: LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。 净化工程,专注打造无尘洁净空间,为产品质量保驾护航。江苏光电净化工程
洁净室的送风方式有多种,如层流送风、乱流送风等,应根据实际情况选择合适的送风方式。实验室净化工程
无尘车间对于产品的质量、精度、成品率、稳定性起到保障的作用,尤其在精密电子、食品、医1疗器械行业,对于无尘车间装修建设及布局等都尤为重视。关于材料方面必须用防水石膏板。木材的含水率不大于16%,否则易干裂、变形、松动等。装修材料有一定的耐氧化性,表面具有一定的耐化学性。淋浴区域,1好选用具有防滑功能的陶瓷砖。净化厂房墙、顶板材一般采用50mm厚的夹心彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。地面可采用环氧自流地坪或高1级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。送回风管道用热镀锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,净化工程多少钱,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。杭州碧海净化工程有限公司,成立于2010年,是一家专业从事净化工程系统设计、施工、安装、检测、调试、维护等综合性技术服务的高科技企业。洁净厂房竣工验收的主要测试内容如下:1气流目测;2风速和风量测试;3空气过滤器的检漏;4洁净室(区)的密闭性测试;5房间之间的静压差测试;6空气洁净度等级;7自净时间;8温度、相对湿度;9照度值;10噪声级;11其他建设方需要进行的检测项目。实验室净化工程
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