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光学微电子行业净化工程设计方案分析 对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。 净化工程中空气净化处理方案 ●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。 ●空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;在洁净室内进行生产时,应严格控制原材料的进入和废弃物的处理,以减少对环境的污染。实验室净化工程公司
净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。 中文名 净化工程 外文名 Purification engineering 工程性质 环境保护 应 用 制造业 原 理 乱流洁净室,单向流洁净室 作 用 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度 目录 1 原理 ▪ 乱流洁净室 ▪ 单向流洁净室 2 控制 3 作用 4 分类 5 等级标准 6 行业应用 7 解决方案 净化工程原理 编辑 净化工程乱流洁净室 乱流 洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的, 洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。实验室净化工程公司净化工程中的洁净室应定期进行能效评估和节能优化,降低生产成本。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。 乱流式 缺点:构造费用较高,弹性运用 空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。 复合式(Mixed Type) 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA 过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。
在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的 垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s 水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s 噪声控制 洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是: 1.烦恼的效应 由于噪声,使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼,高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。 2.对工作效率的影响 这主要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神,动作准确性,工作速度; 3.对综合通讯的干扰 这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能 对以上三方面指标都用A声级来评价。洁净室的通风系统应设计合理,确保空气流通顺畅且不会产生涡流和死角。
而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。 对于以微生物为控制对象的生物洁净室(例如:生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等)其重点要控制微生物的产生和传播,因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件,因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中,只能采用干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿。 还有一个值得注意的问题是,近些年来我国南方如佛山、广州以及华东的上海、苏州等地冬季室外空气相对湿度较“规范”给出的室外空调计算相对湿度要低,例如:冬季室外计算相对湿度佛山无尘室、广州均为70%,上海和苏州为75%,而这些年实测的室外相对湿度有时只有30%左右,净化工程不仅提升空气质量,更对人员健康起到保护作用。无锡电子净化工程施工
洁净室的电路设计需符合净化工程标准,确保电路安全稳定运行。实验室净化工程公司
对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的高效过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞,向***经室内,带走污染物,然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后,再循环至高效过滤器。实验室净化工程公司