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真空离子镀在航空航天方面的应用: 在现代飞机、航空发动机或航空仪表中,特别是在航宇器,如宇宙飞船、人造卫星中,有不少旋转零件都要求有良好的润滑,但往往由于封存过久、环境温度过高或太空挥发等原因,普通油脂润滑剂已不再适用,从而提出以固体润滑剂代替。试验表明,用离子镀来制作固体润滑膜,比现有其他方法为优。不但附着力强,镀层又薄又匀,不影响零件的尺寸精度和公差配合。经济性也好,少许润滑材料即可镀很大面积。润滑膜的质量也较好,摩擦系数小,使用寿命也长。例如有一个人造卫星上的精密轴承,未镀前工作寿命*为几分钟,根本无法使用;但是经离子镀固体润滑膜后,则可在飞行中可靠地工作数千小时之久。离子镀不仅能够镀许多种常温固体润滑材料,而且还能镀复各种高温固体润滑材料,有的甚至可以在摄氏八百度以上的高温下发挥良好的润滑作用。可镀的固体润滑材料有银、金、铜、铅、铅锡合金、氟化物等。选择能实现快速致密化的成形烧结技术,以保证靶材的低孔隙率,并控制晶粒度。镇江铟锡靶材贴合
真空镀膜机分类 真空镀膜机在近二十年内发展迅速,其涉足的行业包括:塑料、五金、建筑、模具、装饰、陶瓷、汽车等行业,而真空镀膜设备根据各大个行业的功能需求,发展为蒸发真空镀膜机、多弧离子真空镀膜机、磁控溅射真空镀膜机。其中蒸发机主要应用于塑料、五金等行业。表面进行蒸发镀铝、鉻、一氧化硅的**设备,所镀膜层特点:牢固且细密,是工业化生产的理想设备,其大的优点是它的环保性,真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备,无须环保部门审批。多弧离子真空镀膜机主要应用于表面涂装PVD膜层,是目前世界上先进**涂装PVD膜层设备,**真空所自主研发生产的多弧离子真空镀膜设备运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话,简便。合肥Mo靶材费用溅射靶材广泛应用于装饰、工模具、玻璃、电子器件、半导体、磁记录、平面显示、太阳能电池等众多领域。
为确保足够的导热性,可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射头冷却壁的平整度,同时确保O型密封圈始终在位置上。
由于所使用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽内,所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理,确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。
有些阴极设计是与阳极的空隙较小,所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体,否则会产生短路。
请参考设备商操作手册中关于如何正确安装靶材的相关信息。在收紧靶材夹具时,请先用手转紧一颗镙栓,再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓,如此重复直到安装上所有镙栓后,再用工具收紧。
实施例6
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.95mm;所述靶材表面的硬度为23hv;
其中,所述靶材的比较大厚度为27mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述***平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钽;所述背板的材质包括铝。
所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。
实施例7
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75mm;所述靶材表面的硬度为22hv;
其中,所述靶材的比较大厚度为20mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为9°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述***平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钛;所述背板的材质包括铜。
所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。 一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间,当发生靶中毒时,溅射电压会降低。
锌锡合金,锌铝合金,锡镉合金,铜铟合金,铜铟镓合金,铜镓合金,以及锡,钼,钛等旋转靶材 高纯铝靶材Al 高纯铜靶材Cu 高纯铁靶材Fe 高纯钛靶材Ti 高纯镍靶材Ni 高纯镁靶材Mg高纯铬靶材Cr 高纯锌靶材Zn 高纯银靶材Ag 高纯钴靶材Co 高纯铌靶材Nb 高纯锡靶材Sn 高纯铟靶材In 高纯锆靶材Zr 高纯钽靶材Ta 高纯锗靶材Ge 高纯硅靶材Si 高纯钨靶材W 高纯铪靶材Hf 高纯钇靶材Y 高纯钆靶材Gd 高纯钐靶材Sm 高纯镝靶材Dy 高纯铈靶材Ce 高纯镧靶材La 高纯金靶材Au 高纯不锈钢靶材高纯石墨靶材C 高纯硒靶材Se高纯钼靶材Mo 高纯合金溅射靶材 二元合金靶 镍铬靶Ni-Cr 镍铁靶Ni-Fe 镍钴靶Ni-Co 镍锆靶Ni-Zr 镍铝靶Ni-Al镍铜靶Ni-Cu 镍钒靶Ni-V铜铟靶Cu-In 铜镓靶Cu-Ga 铜硒靶Cu-Se 钛铝靶Ti-Al 铝硅靶Al-Si 铝铜靶Al-Cu 铝钛靶Al-Ti 铝镁靶Al-Mg 银铜靶Ag-Cu 铁锰靶Fe-Mn 铟锡靶In-Sn 钴铁靶Co-Fe钨钛靶W-Ti 锌铝靶Zn-Al 铝钪靶Al-Sc 铜锡靶Cu-Sn 锆铝靶Zr-Al 锆铁靶Zr-Fe 锆硅靶Zr-Si 钒铝靶V-Al硼铁靶B-Fe 铝硅靶Al-Si 硼铁靶 B-Fe 多元合金靶 钴铁硼靶Co-Fe-B 铜铟镓靶Cu-In-Ga铜铟镓硒靶Cu-In-Ga-Se等。 旋转靶材用途 编辑 太阳能电池,建筑玻璃,汽车玻璃,半导体,平板电视等。采用闭环控制反应气体的通入量。镇江NbTi靶材价格
反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。镇江铟锡靶材贴合
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。九.什么是靶材绑定
主要从靶材绑定的定义,适用范围和背靶的选择三个方面来为大家介绍一下靶材绑定。
一.靶材绑定的定义
靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要由三种方式:压接、钎焊和导电胶。
1.压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮;
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江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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