无锡氧化锌靶材

有一部分靶材在安装之前需要抛光，比如铝靶材等活性金属靶材，长期暴露在大气中，表面容易形成一层氧化皮，在直流脉冲、中频溅射过程中，离子撞击的能量不足以破坏氧化皮，所以一般在溅射的时候进行物理抛光。

一般靶材抛光后，溅射速率、电压等工艺参数比较稳定，容易控制。

所以结论就是，活性金属靶材要求表面抛光，不活泼金属靶材不一定非要求表面抛光。其他非金属的靶材不需要抛光。

六．靶材安装及注意事项有哪些？

溅射靶材安装过程中重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射头冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲，背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响，导致在溅射过程中热量无法散发**终会造成靶材开裂或脱靶。

而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。无锡氧化锌靶材

所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

实施例3

本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.8mm；所述靶材表面的硬度为22hv；

其中，所述靶材的比较大厚度为28mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为3°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括钽；所述背板的材质包括铜。

所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

实施例4

本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.9mm；所述靶材表面的硬度为25hv； 南京铜镍靶材功能在受到离子轰击之后，释放的二次电子数量增加，提高空间的导通能力，降低等离子体阻抗，导致溅射电压降低。

影响磁控靶溅射电压的主要因素有：靶面磁场、靶材材质、气体压强、阴-阳极间距等。本文详细分析这些因素距对靶溅射电压的影响。 　　一、 靶面磁场对靶溅射电压的影响 1. 磁控靶的阴极工作电压，随着靶面磁场的增加而降低，也随着靶面的溅射刻蚀槽加深而降低。溅射电流也随着靶面的溅射刻蚀槽加深而加大。这是因为靶的溅射刻蚀槽面会越来越接近靶材后面的磁钢的强磁场。因此，靶材的厚度是有限制的。较厚的非磁性靶材能够在较强的磁场中使用。 　　2. 铁磁性靶材会对磁控靶的溅射造成影响，由于大部分磁力线从铁磁性材料内部通过，使靶材表面磁场减少，需要很高电压才能让靶面点火起辉。除非磁场非常的强，否则磁性材靶材必须比非磁性材料要薄，才能起辉和正常运行(永磁结构的Ni靶的典型值<0.16cm，磁控靶非特殊设计**大值一般不宜超过3mm，Fe，co靶的**大值不超过2mm;电磁结构的靶可以溅射厚一些的靶材，甚至可达6mm厚)才能起辉和正常运行。正常工作时，磁控靶靶材表面的磁场强度为0.025T~0.05T左右;靶材溅射刻蚀即将穿孔时，其靶材表面的磁场强度大为提高，接近或大于0.1T左右。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明提供的靶材抛光装置的技术方案中，所述靶材抛光装置包括：固定板，所述固定板包括顶板和位于所述顶板一侧的侧板；抛光片，位于所述固定板内侧面上，其中位于固定板弯折处的抛光片呈弧状。位于固定板弯折处的抛光片表面适于对靶材经圆角处理的侧棱进行抛光，位于侧板上的所述抛光片表面适于对靶材侧壁表面进行抛光。所述靶材抛光装置能够对靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱同时进行抛光，因此所述靶材抛光装置有助于提高对靶材表面进行抛光的作业效率。

可选方案中，所述防护层为弹性材料，所述防护层的质地软，能够在所述固定板及靶材间提供缓冲，避免所述固定板触撞靶材导致靶材受损。 有一部分靶材在安装之前需要抛光，比如铝靶材等活性金属靶材，长期暴露在大气中，表面容易形成一层氧化皮。

本实施例中，所述***把手510包括***杆状部511和第二杆状部512，所述***杆状部511的一端连接所述顶板210，另一端连接所述第二杆状部512。所述***杆状部511延伸方向与所述顶板210表面相垂直，所述第二杆状部512延伸方向与所述顶板210表面相平行。所述***把手510的结构有利于操作人员牢固的抓握所述***把手510，防止从所述***把手510上滑脱。

本实施例中，所述第二把手520呈圆柱状结构。

在其他实施例中，参照图2，所述固定板200内侧面弯折处呈弧状，所述防护层400弯折处呈弧状，位于所述固定板200弯折处的所述抛光片300的厚度均匀。

此外，与前一实施例不同的是，所述抛光片***部分310(参考图1)、抛光片第二部分320(参考图1)及抛光片第三部分330(参考图1)为一体成型。且所述抛光片***部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330厚度相等。 采用闭环控制反应气体的通入量。常州铕靶材

靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。无锡氧化锌靶材

为确保足够的导热性，可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射头冷却壁的平整度，同时确保O型密封圈始终在位置上。

由于所使用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽内，所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理，确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。

有些阴极设计是与阳极的空隙较小，所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体，否则会产生短路。

请参考设备商操作手册中关于如何正确安装靶材的相关信息。在收紧靶材夹具时，请先用手转紧一颗镙栓，再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓，如此重复直到安装上所有镙栓后，再用工具收紧。 无锡氧化锌靶材

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市，是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司，溅射靶材充分借鉴国外的先进技术，并通过与国内外知名研发机构合作，整合各行业资源优势，生产出多系列高品质溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属，合金，陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累，已经拥有：真空热压，冷压烧结，真空熔炼，热等静压，等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供高品质的靶材：平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台，冷压烧结炉一台，真空熔炼设备两台，等静压设备一台，等离子喷涂两套，绑定平台两套，各类机加工设备七台，检验设备若干，确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承：“一切以客户的需求为导向，客户的所有需求一次做好。”的发展理念。