安徽铪靶材

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的硬度为10hv；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。

对比例4

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的硬度为35hv；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。

通过上述实施例和对比例的结果可知，本发明中，通过调整靶材表面的高度差及硬度，保证溅射强度，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

以上详细描述了本发明的推荐实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。 在靶材的技术工艺中为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能。安徽铪靶材

根据客户需要的比例计算、配料。（严格按照需求比例进行配料，以便保证合金的成分比例，降低公差）；根据元素的熔点、元素特性、用量等选择合适的熔炼炉工艺排期、熔炼；熔炼成型，根据客户要求大小进行破碎、切割等后期处理。 高纯靶,靶靶材钯颗粒,钯粉,钯靶材

规格说明： 产品规格 靶材可定制 产品数量 1000 包装说明 双层真空包装 价格说明 1000 ◆  产品说明： 高纯靶,靶靶材钯颗粒,钯粉,钯靶材 钯，是银白色过渡金属，较软，有良好的延展性和可塑性，能锻造、压延和拉丝。块状金属钯能吸收大量氢气，使体积胀大，变脆乃至破裂成碎片。 原 子 量：106.4 密  度（20℃）/g•cm-3：12.02 熔  点/℃：1552 蒸发温度/℃：1460 沸  点/℃：3140 汽化温度/℃： 北京PZT靶材熔融铸造法是制作溅射靶材的基本方法之一。

背景技术：

溅射镀膜属于物相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击靶材表面，使得靶材原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜。由于背板具有良好的导电导热性能，且还可以起到固定支撑作用，因此，靶材在镀膜前需与背板焊接在一起，然后共同装配至溅射基台。一般活性金属靶材，例如铝靶材，由于长期暴露在空气中，靶材表面材料容易氧化形成一层氧化皮。在直流脉冲、中频溅射过程中，离子撞击的能量不足以破坏该氧化皮，导致靶材原子或分子难以逸出，因此在将靶材安装至溅射基台之前，需要对靶材表面进行抛光。此外，对于活性金属靶材及非活性金属靶材，抛光操作有利于改善靶材的溅射速率的稳定性，有助于提高溅射镀膜质量。

本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.78mm；所述靶材表面的硬度为26hv；

其中，所述靶材的比较大厚度为22mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为4°；所述斜面位于所述平面和第二平面之间；所述平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括钛；所述背板的材质包括铝。

所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

对比例1

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.5mm；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。

对比例2

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为8mm；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。 金属化合物的二次电子发射系数比金属的高，靶中毒后，靶材表面都是金属化合物。

钯，是银白色过渡金属，较软，有良好的延展性和可塑性，能锻造、压延和拉丝。块状金属钯能吸收大量氢气，使体积***胀大，变脆乃至破裂成碎片。 原 子 量：106.4 密  度（20℃）/g•cm-3：12.02 熔  点/℃：1552 蒸发温度/℃：1460 沸  点/℃：3140 汽化温度/℃：1317 比 热 容（25℃）J•（g•K）-1：0.2443 电 阻 率（0℃）/uΩ•cm：10.6 熔 化 热/kJ•mol-1：16.7 汽 化 热/ kJ•mol-1：361.7 热 导 率（0～100℃）/J•（cm•s•℃）-1：0.753 电阻温度系数（0～100℃）/℃-1：0.0038 外  观：银白色 蒸 发 源（丝、片）：W（镀Al2O3） 坩  埚：Al2O3 性  质：与难溶金属形成合金，闪烁蒸发，在EB内激烈飞溅，钯是银白色过渡金属，较软，有良好的延展性和可塑性，能锻造、压延和拉丝。块状金属钯能吸收大量氢气，使体积***胀大，变脆乃至破裂成碎片。化学性质不活泼，常温下在空气和潮湿环境中稳定，加热至 800℃，钯表面形成一氧化钯薄膜。选择高纯、超细粉末作为原料。江苏La2O3靶材

反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。安徽铪靶材

其他服务: 打穿的钯靶材、钯残料可提供回收再加工服务。

回收流程如下:称重----清洗、提纯---熔炼加工---靶材等成品

江阴典誉新材料科技有限公司，是专业从事镀膜材料、合金制备等相关材料研发、销售、服务为一体的全球化高科技综合性公司。以业内**企业为支撑，整合技术资源，拥有自主进出口经营权和成熟的运营管理团队，科学化管理运营，为公司向化、高新化发展奠定了基础。典誉新材料在光电器件、芯片半导体、太阳能电池、光学镀膜、航空航天、**、冶金、功能材料、新能源等行业产品开发、创新方面，有着得天独厚的优势。以客户需求为导向，以前沿技术为基础，开发了多个产品系列，涵盖溅射靶材、蒸镀膜料、高纯合金、金属粉末、耗材配件等千余种产品，质量稳定、工艺完善，得到广大客户好评。典誉新材料坚持“诚信为本、高质的经营理念，关注客户需求，追求客户满意，以服务求生存，以质量求发展，不断优化产品线，为广大用户提供一站式服务，力争做全球**的金属材料供应商。 安徽铪靶材

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市，是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司，溅射靶材充分借鉴国外的先进技术，并通过与国内外**研发机构合作，整合各行业资源优势，生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属，合金，陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累，已经拥有：真空热压，冷压烧结，真空熔炼，热等静压，等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材：平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台，冷压烧结炉一台，真空熔炼设备两台，等静压设备一台，等离子喷涂两套，绑定平台两套，各类机加工设备七台，检验设备若干，确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承：“一切以客户的需求为导向，客户的所有需求一次做好。”的发展理念。